多數石墨部件之內花飾體積介乎 0.1um 至 >100um間，此類圖樣體積要精確調節在一。
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關鍵性長寬Critical Dimension，縮寫ROM)：半導體器件白光掩模生產光刻手工中會作為評估結果調節生關鍵尺寸產工藝。
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